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二氧化锆薄膜制备及其特性测量

任树喜马洪良徐国庆张义炳

强激光与粒子束2005，Vol.17Issue(2)：222-224,3.

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强激光与粒子束2005，Vol.17Issue(2)：222-224,3.

二氧化锆薄膜制备及其特性测量

Preparation and character measurement of ZrO2 films

任树喜 ¹马洪良 ¹徐国庆 ¹张义炳¹

作者信息

1. 上海大学,物理系,上海,200436
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摘要

关键词

电子束蒸发/氧化锆(ZrO2)薄膜/退火温度/透射率

分类

数理科学

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任树喜,马洪良,徐国庆,张义炳..二氧化锆薄膜制备及其特性测量[J].强激光与粒子束,2005,17(2):222-224,3.

强激光与粒子束

OA北大核心CSCD

ISSN：1001-4322

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