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用MOCVD法制备TiO2薄膜

崔丽萍 张建明

太原理工大学学报2003，Vol.34Issue(2)：222-225,4.
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太原理工大学学报2003，Vol.34Issue(2)：222-225,4.

用MOCVD法制备TiO2薄膜

TiO2 Thin Film Prepared with MOCVD

崔丽萍 1张建明1

作者信息

  • 1. 太原理工大学,化学工程与技术学院,山西,太原,030024
  • 折叠

摘要

关键词

二氧化钛/薄膜/化学气相沉积

分类

化学化工

引用本文复制引用

崔丽萍,张建明..用MOCVD法制备TiO2薄膜[J].太原理工大学学报,2003,34(2):222-225,4.

太原理工大学学报

OACSCDCSTPCD

1007-9432

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