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金属有机物热分解法制备Bi4Ti3O12薄膜的工艺研究

王旭升 杨银堂 张良莹 姚熹

西安电子科技大学学报（自然科学版）1999，Vol.26Issue(2)：222-226,5.
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西安电子科技大学学报（自然科学版）1999，Vol.26Issue(2)：222-226,5.

金属有机物热分解法制备Bi4Ti3O12薄膜的工艺研究

Studies on preparation of ferroelectric Bi4Ti3O 12 thin films by the metalorganic decomposition technique

王旭升 1杨银堂 1张良莹 2姚熹2

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学技术物理系,西安,710071
  • 2. 西安交通大学电子材料研究所,西安,710049
  • 折叠

摘要

关键词

MOD/钛酸铋/铁电薄膜

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王旭升,杨银堂,张良莹,姚熹..金属有机物热分解法制备Bi4Ti3O12薄膜的工艺研究[J].西安电子科技大学学报（自然科学版）,1999,26(2):222-226,5.

基金项目

国家自然科学基金资助. （）

西安电子科技大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSCD

1001-2400

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