气象水文海洋仪器Issue(1)：22-24,3.
半导体气敏元件的结构及制作工艺
The structure and manufacturing technology of the gas sensory semiconductor
熊力 1王金成 2朱军南1
作者信息
- 1. 大连轻工业学院
- 2. 大连医学高等专科学校
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摘要
关键词
半导体烧结型元件/半导体厚膜元件/半导体薄膜元件/结构/工艺分类
天文与地球科学引用本文复制引用
熊力,王金成,朱军南..半导体气敏元件的结构及制作工艺[J].气象水文海洋仪器,2000,(1):22-24,3.
