表面技术2008，Vol.37Issue(3)：22-24,3.
偏压对电弧离子镀CrNx薄膜结构和机械性能的影响
The Influences of Bias on the Microstructure and Mechanical Properties ofCrNx Films Prepared by Cathodic Arc Evaporation
摘要
关键词
CrNx薄膜/表面形貌/相结构/显微硬度/耐磨性/电弧离子镀/不锈钢/偏压分类
矿业与冶金引用本文复制引用
杨娟,聂朝胤,陈志谦,谢红梅,文晓霞,卢春灿..偏压对电弧离子镀CrNx薄膜结构和机械性能的影响[J].表面技术,2008,37(3):22-24,3.基金项目
重庆市自然科学基金资助项目(2006BB4050) （2006BB4050）
西南大学科技基金资助项目(SWNUF2005001,SWNUB2005001) （SWNUF2005001,SWNUB2005001）
