四川理工学院学报（自然科学版）2005，Vol.18Issue(3)：22-24,3.
溅射靶材的制备及应用研究
Studying on Manufacture and Application of Sputtering Target Materials
金永中 1刘东亮 1陈建1
作者信息
- 1. 四川理工学院材料与化学工程系,四川,自贡,643000
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摘要
关键词
溅射/靶材制备/集成电路/平面显示器/光学镀膜分类
矿业与冶金引用本文复制引用
金永中,刘东亮,陈建..溅射靶材的制备及应用研究[J].四川理工学院学报（自然科学版）,2005,18(3):22-24,3.
