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六硼化镧材料的化学腐蚀工艺研究

于海波 林祖伦 祁康成

电子器件2006，Vol.29Issue(1)：22-24,3.
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电子器件2006，Vol.29Issue(1)：22-24,3.

六硼化镧材料的化学腐蚀工艺研究

Chemical Etching Technical Research in Material of LaB6

于海波 1林祖伦 1祁康成1

作者信息

  • 1. 电子科技大学光电信息学院,成都,610054
  • 折叠

摘要

关键词

硼化镧/单晶/光刻/化学腐蚀

分类

化学化工

引用本文复制引用

于海波,林祖伦,祁康成..六硼化镧材料的化学腐蚀工艺研究[J].电子器件,2006,29(1):22-24,3.

电子器件

OACSTPCD

1005-9490

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