|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|华中科技大学学报（自然科学版）|N2O氮化LPCVD氧化物可靠性的改进

N2O氮化LPCVD氧化物可靠性的改进

徐静平 钟德刚 于军

华中科技大学学报（自然科学版）2001，Vol.29Issue(z1)：22-24,3.
✕
华中科技大学学报（自然科学版）2001，Vol.29Issue(z1)：22-24,3.

N2O氮化LPCVD氧化物可靠性的改进

Improvement of Reliability for N2O-Nitrided LPCVD Oxide

徐静平 1钟德刚 1于军1

作者信息

  • 1. 华中科技大学电子科学与技术系
  • 折叠

摘要

关键词

MOS电容/低压化学汽相淀积/氧化物/N2O氮化

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

徐静平,钟德刚,于军..N2O氮化LPCVD氧化物可靠性的改进[J].华中科技大学学报（自然科学版）,2001,29(z1):22-24,3.

华中科技大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSCD

1671-4512

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文