华中科技大学学报（自然科学版）2003，Vol.31Issue(10)：22-25,4.
Si基片各向异性腐蚀特性研究
The anisotropy of etching solution properties of Si substrates
摘要
关键词
Si基片各向异性/腐蚀特性/KTMAH腐蚀液分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
姜胜林,曾亦可,刘少波,刘梅冬..Si基片各向异性腐蚀特性研究[J].华中科技大学学报（自然科学版）,2003,31(10):22-25,4.基金项目
国家自然科学基金重大研究计划项目(90201028) （90201028）
国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA325080). （2002AA325080）
