测控技术2002，Vol.21Issue(6)：22-25,4.
MEMS薄膜热导率测试结构
The Test Structure for Measuring Thermal Conductivity of MEMS Thin Films
许高斌 1黄庆安 1姜岩峰1
作者信息
- 1. 东南大学,微电子中心,江苏,南京,210096
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摘要
关键词
热导率/MEMS技术/CMOS工艺/测试结构分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
许高斌,黄庆安,姜岩峰..MEMS薄膜热导率测试结构[J].测控技术,2002,21(6):22-25,4.
