测试技术学报2004，Vol.18Issue(z3)：22-25,4.
一种隧道式硅微加速度计隧道电流处理电路的设计
Tunneling Current Processing Circuit for Tunneling Silicon Micro- accelerometer
沈三民 1张文栋 1刘俊1
作者信息
- 1. 仪器科学与动态测试技术教育部重点实验室,山西太原华北工学院电子科学与技术系,030051
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摘要
关键词
硅微加速度计/隧道电流/反馈放大电路分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
沈三民,张文栋,刘俊..一种隧道式硅微加速度计隧道电流处理电路的设计[J].测试技术学报,2004,18(z3):22-25,4.
