黑龙江商学院学报（自然科学版）2000，Vol.16Issue(2)：22-27,6.
硅各向异性腐蚀技术
Brief Discussion on the Technique of Different Erosion in Different Direction of Sillicon
王丰 1吕平临 2李敬文3
作者信息
- 1. 黑龙江商学院电子工程系,黑龙江哈尔滨,150076
- 2. 黑龙江计算机总公司,黑龙江哈尔滨,150001
- 3. 黑龙江省计划生育信息中心,黑龙江哈尔滨,150001
- 折叠
摘要
关键词
硅各向异性腐蚀/硅杯结构/推广应用分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王丰,吕平临,李敬文..硅各向异性腐蚀技术[J].黑龙江商学院学报（自然科学版）,2000,16(2):22-27,6.
