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应用全息光栅拍频的精密测量仪

李信 邱宗明 刘君

西安理工大学学报Issue(1)：22-27,6.
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西安理工大学学报Issue(1)：22-27,6.

应用全息光栅拍频的精密测量仪

李信 1邱宗明 1刘君2

作者信息

  • 1. 西安理工大学精密仪器工程系，西安710048
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摘要

关键词

全息光栅/线偏振光/锁相倍频/精密测量仪

分类

机械制造

引用本文复制引用

李信,邱宗明,刘君..应用全息光栅拍频的精密测量仪[J].西安理工大学学报,1995,(1):22-27,6.

西安理工大学学报

1006-4710

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