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SOI上PZT铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积及其快速退火研究

郑立荣 陈逸清 张顺开 林成鲁 邹世昌

半导体学报Issue(3)：223,1.
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半导体学报Issue(3)：223,1.

SOI上PZT铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积及其快速退火研究

郑立荣 1陈逸清 1张顺开 2林成鲁 2邹世昌2

作者信息

  • 1. 中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室
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摘要

关键词

SOI/准分子激光/沉积/退火/铁电薄膜

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

郑立荣,陈逸清,张顺开,林成鲁,邹世昌..SOI上PZT铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积及其快速退火研究[J].半导体学报,1996,(3):223,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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