物理学报2005，Vol.54Issue(5)：2233-2238,6.
离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟
Simulations of the structure characteristic of diamond-like carbon films formed by ion-beam-assisted deposition
摘要
关键词
类金刚石膜/离子束辅助沉积/分子动力学模拟分类
数理科学引用本文复制引用
李之杰,潘正瑛,朱靖,魏启,王月霞,臧亮坤,周亮,刘提将..离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟[J].物理学报,2005,54(5):2233-2238,6.基金项目
国家自然科学基金(批准号:10275012)资助的课题. （批准号:10275012）
