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利用等时退火法预估等温退火效应实验研究

何宝平 王桂珍 龚建成 罗尹虹 李永宏

物理学报2003,Vol.52Issue(9):2239-2243,5.
物理学报2003,Vol.52Issue(9):2239-2243,5.

利用等时退火法预估等温退火效应实验研究

Prediction on the characteristics of isothermal annealing by using isochronal annealing data

何宝平 1王桂珍 1龚建成 1罗尹虹 1李永宏1

作者信息

  • 1. 西北核技术研究所,西安市69信箱六室,710613
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摘要

关键词

等温退火/等时退火/MOS器件

分类

数理科学

引用本文复制引用

何宝平,王桂珍,龚建成,罗尹虹,李永宏..利用等时退火法预估等温退火效应实验研究[J].物理学报,2003,52(9):2239-2243,5.

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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