中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：224-226,3.
氢氟酸腐蚀牺牲层数值模型及计算机仿真
Numerical Simulation for the Sacrificial Layer Etching Used Hydrofluoric Acid
摘要
关键词
牺牲层腐蚀/P0wer/law模型/前端表面浓度/计算机仿真分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李艳辉,李伟华,周再发..氢氟酸腐蚀牺牲层数值模型及计算机仿真[J].中国机械工程,2005,16(z1):224-226,3.基金项目
国家杰出青年科学基金资助项目(50325519) （50325519）
