强激光与粒子束2008，Vol.20Issue(2)：224-228,5.
相移干涉法测量ICF微球内表面粗糙度
Interior surface roughness of ICF micro-shells with phase shift interference technique
摘要
关键词
相移干涉/ICF微球/内表面粗糙度/测量不确定度分类
机械制造引用本文复制引用
马小军,高党忠,叶成刚,贾鹏,唐科慧,初巧妹..相移干涉法测量ICF微球内表面粗糙度[J].强激光与粒子束,2008,20(2):224-228,5.基金项目
国家高技术发展计划项目 （）
