电子器件2007，Vol.30Issue(6)：2247-2249,3.
MEMS热风速计流固耦合模拟
Fluid-Solid Coupling Simulation of MEMS Thermal Wind Sensor
摘要
关键词
流固耦合/MEMS/热风速计/模拟/测量分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张骅,沈广平,吴剑,秦明,黄庆安..MEMS热风速计流固耦合模拟[J].电子器件,2007,30(6):2247-2249,3.基金项目
国家自然科学基金资助(60476019) （60476019）
江苏省青蓝工程人才培养计划资助课题 （）
