液晶与显示2005，Vol.20Issue(3)：225-228,4.
热丝对微波ECR CVD方法制备的a-Si:H薄膜氢含量的影响
Effect of Hot Wire on the Hydrogen Content of a-Si:H Films Prepared by Microwave ECR CVD Technique
摘要
关键词
氢化非晶硅/微波ECR CVD/沉积速率/氢含量分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李瀛,陈光华,朱秀红,胡跃辉,宋雪梅..热丝对微波ECR CVD方法制备的a-Si:H薄膜氢含量的影响[J].液晶与显示,2005,20(3):225-228,4.基金项目
国家重点基础研究发展计划"973"资助项目(No.G2000028201-1) （No.G2000028201-1）
