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溶胶-凝胶法制备V2O5薄膜的气敏特性研究

童茂松 戴国瑞 薛辉 何秀丽 吴元大 高鼎三

传感技术学报2000,Vol.13Issue(3):225-229,5.
传感技术学报2000,Vol.13Issue(3):225-229,5.

溶胶-凝胶法制备V2O5薄膜的气敏特性研究

Gas Sensing Properties of V2Os Thin Films Fabricated by Sol-Gel Technology

童茂松 1戴国瑞 1薛辉 1何秀丽 1吴元大 1高鼎三1

作者信息

  • 1. 吉林大学电子工程系、集成光电子国家重点联合实验室,长春130023
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摘要

关键词

溶胶-凝胶法 V2O5薄膜 气体传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

童茂松,戴国瑞,薛辉,何秀丽,吴元大,高鼎三..溶胶-凝胶法制备V2O5薄膜的气敏特性研究[J].传感技术学报,2000,13(3):225-229,5.

基金项目

国家自然基金资助项目(69776038)和国际合作项目资助 (69776038)

传感技术学报

OACSCDCSTPCD

1004-1699

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