光学精密工程2001，Vol.9Issue(3)：226-229,4.
微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌
Quantitative surface topography determination by differential interference contrast microscopy
许谊 1徐毓娴 1惠梅 2蔡昕1
作者信息
- 1. 清华大学精密仪器系,
- 2. 中国科学院西安光机所,
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摘要
关键词
干涉显微镜/相衬显微镜/形貌测量术分类
机械制造引用本文复制引用
许谊,徐毓娴,惠梅,蔡昕..微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌[J].光学精密工程,2001,9(3):226-229,4.
