光学精密工程2004，Vol.12Issue(2)：226-230,5.
窄光谱带宽X射线刻蚀多层膜光栅
Etching of multilayer grating using a narrow spectral band X-ray
摘要
关键词
多层膜/光栅/带宽/刻蚀/光谱分辨率/刻蚀比分类
通用工业技术引用本文复制引用
吴文娟,王占山,秦树基,王风丽,王洪昌,张众,陈玲燕,徐向东,付绍军..窄光谱带宽X射线刻蚀多层膜光栅[J].光学精密工程,2004,12(2):226-230,5.基金项目
国家自然科学基金资助课题(No.60378021) （No.60378021）
国家863-804-7-5资助课题 （）
