物理学报2001，Vol.50Issue(11)：2263-2268,6.
辉光放电等离子体辅助XeCl准分子激光溅射沉积碳氮薄膜
CARBON NITRIDE THIN FILMS PREPARED BY PULSED XeCl EXCIMER LASER DEPOSITION ASSISTED BY DC GLOW DISCHARGE
摘要
关键词
脉冲激光沉积/直流辉光放电/碳氮薄膜分类
数理科学引用本文复制引用
傅广生,于威,王淑芳,李晓苇,张连水,韩理..辉光放电等离子体辅助XeCl准分子激光溅射沉积碳氮薄膜[J].物理学报,2001,50(11):2263-2268,6.基金项目
河北省自然科学基金(批准号:597058)资助的课题. （批准号:597058）
