传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：2268-2271,4.
常压下工作的微机械陀螺的频率和阻尼特性
Frequency and Damping Characteristics of Micro-Machined Gyroscope Working at Atmospheric Pressure
刘晓为 1陈宏 1陈伟平 1陆学斌 1韩天1
作者信息
- 1. 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001
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摘要
关键词
微机械电子系统/陀螺/阻尼匹配/频率特性分类
航空航天引用本文复制引用
刘晓为,陈宏,陈伟平,陆学斌,韩天..常压下工作的微机械陀螺的频率和阻尼特性[J].传感技术学报,2006,19(5):2268-2271,4.
