半导体学报2007，Vol.28Issue(2)：227-231,5.
半导体质量控制中的非正态工序能力指数计算模型
Model of Non-Normal Process Capability Indices to Semiconductor Quality Control
摘要
关键词
非正态分布/工序能力指数/切比雪夫-埃尔米特多项式/质量控制分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王少熙,贾新章..半导体质量控制中的非正态工序能力指数计算模型[J].半导体学报,2007,28(2):227-231,5.基金项目
模拟集成电路国家重点实验室基金资助项目(批准号:51439040103DZ0102) （批准号:51439040103DZ0102）
