传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：2279-2282,4.
硅微电容传声器的防粘连结构
Anti-Stiction Structure for Silicon Condenser Microphone
摘要
关键词
微机电系统/硅微电容传声器/防粘连/微突出分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
潘昕,汪承灏,徐联,魏建辉..硅微电容传声器的防粘连结构[J].传感技术学报,2006,19(5):2279-2282,4.基金项目
国家自然科学基金SOC重大科研计划重点基金项目资助(90207003). （90207003）
