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焦磷酸盐电镀铜初始过程研究

冯绍彬 商士波 冯丽婷

电化学2005,Vol.11Issue(2):228-231,4.
电化学2005,Vol.11Issue(2):228-231,4.

焦磷酸盐电镀铜初始过程研究

Initial Process of Pyrophosphate Copper Electroplating

冯绍彬 1商士波 1冯丽婷1

作者信息

  • 1. 郑州轻工业学院材料与化学工程学院,河南,郑州,450002
  • 折叠

摘要

关键词

焦磷酸盐镀铜/临界起始电流密度/结合强度/XPS/深度刻蚀

分类

化学化工

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冯绍彬,商士波,冯丽婷..焦磷酸盐电镀铜初始过程研究[J].电化学,2005,11(2):228-231,4.

基金项目

国家自然科学基金(20376077)资助 (20376077)

电化学

OA北大核心CSCD

1006-3471

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