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强电子流增强化学气相沉积法生长金刚石膜

石成儒

杭州大学学报(自然科学版)Issue(2)：229,1.
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杭州大学学报(自然科学版)Issue(2)：229,1.

强电子流增强化学气相沉积法生长金刚石膜

石成儒1

作者信息

  • 1. 不详;不详
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摘要

关键词

金刚石膜/化学气相沉积/强电子流

分类

数理科学

引用本文复制引用

石成儒..强电子流增强化学气相沉积法生长金刚石膜[J].杭州大学学报(自然科学版),1992,(2):229,1.

杭州大学学报(自然科学版)

1008-9497

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