原子能科学技术2001，Vol.35Issue(3)：229-233,5.
过滤管道磁场在改进真空弧沉积系统中的作用
Effects of the Filtering Duct Magnetic Field in a Modified Vacuum Arc Deposition Apparatus
王广甫 1张荟星2
作者信息
- 1. 北京师范大学分析测试中心
- 2. 北京师范大学低能核物理研究所,
- 折叠
摘要
关键词
阴极真空弧放电/磁过滤管道/第二阳极作用/磁过滤管道磁场分类
能源科技引用本文复制引用
王广甫,张荟星..过滤管道磁场在改进真空弧沉积系统中的作用[J].原子能科学技术,2001,35(3):229-233,5.
