光学精密工程2008，Vol.16Issue(2)：229-234,6.
凹球面基底离心式涂胶的数学模型及实验验证
Mathematic model and experiment verification of spin-coating on concave spherical substrate
摘要
关键词
数学模型/离心式涂胶/凹球面/光刻胶分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
巴音贺希格,张浩泰,李文昊..凹球面基底离心式涂胶的数学模型及实验验证[J].光学精密工程,2008,16(2):229-234,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.60478034) （No.60478034）
中国科学院"优秀博士学位论文、院长奖获得者科研启动专项资金"资助项目 （）
"十一五"国家科技支撑计划重大项目(No.2006BAK03A02) （No.2006BAK03A02）
吉林省科技发展计划资助项目(No.20070523) （No.20070523）
