半导体学报2003，Vol.24Issue(z1)：229-234,6.
纳米尺度加工技术概述
Nanoscale Fabrication Techniques
摘要
关键词
纳米加工/光刻/纳米压印/扫描探针显微镜/侧墙掩模/各向异性腐蚀/多孔氧化铝模板/量子限制效应/S-K模式分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王吉林,陈培毅..纳米尺度加工技术概述[J].半导体学报,2003,24(z1):229-234,6.基金项目
国家自然科学重点基金资助项目(批准号:69836020,10075029) （批准号:69836020,10075029）
