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钛溅射和硅化钛形成在硅中引进深能级的研究

卢励吾 周洁 武国英

电子学报Issue(8)：23,1.
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电子学报Issue(8)：23,1.

钛溅射和硅化钛形成在硅中引进深能级的研究

卢励吾 1周洁 1武国英1

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摘要

关键词

硅化物/溅射/深能级/瞬态谱

分类

数理科学

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卢励吾,周洁,武国英..钛溅射和硅化钛形成在硅中引进深能级的研究[J].电子学报,1993,(8):23,1.

电子学报

OA北大核心CSCD

0372-2112

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