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硅表面氧化膜的X光电子谱及部分参数固定法曲线拟合

季振国 汪雷 袁骏

半导体学报Issue(1)：23,1.
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半导体学报Issue(1)：23,1.

硅表面氧化膜的X光电子谱及部分参数固定法曲线拟合

季振国 1汪雷 1袁骏1

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摘要

关键词

硅/氧化膜/X光电谱/参数/曲线拟合

分类

信息技术与安全科学

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季振国,汪雷,袁骏..硅表面氧化膜的X光电子谱及部分参数固定法曲线拟合[J].半导体学报,1994,(1):23,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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