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VHF等离子体光发射谱(OES)的在线监测

杨恢东 吴春亚 李洪波 麦耀华 朱锋 周祯华 赵颖 耿新华 熊绍珍

物理学报2003，Vol.52Issue(9)：2324-2330,7.
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物理学报2003，Vol.52Issue(9)：2324-2330,7.

VHF等离子体光发射谱(OES)的在线监测

Diagnosis of VHF plasmas with optical emission spectroscopy

杨恢东 1吴春亚 2李洪波 1麦耀华 1朱锋 1周祯华 1赵颖 1耿新华 1熊绍珍1

作者信息

  • 1. 南开大学光电子所,天津,300071
  • 2. 东华大学理学院,上海,200051
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摘要

关键词

甚高频等离子体化学气相沉积/氢化硅薄膜/光发射谱

分类

数理科学

引用本文复制引用

杨恢东,吴春亚,李洪波,麦耀华,朱锋,周祯华,赵颖,耿新华,熊绍珍..VHF等离子体光发射谱(OES)的在线监测[J].物理学报,2003,52(9):2324-2330,7.

基金项目

国家重点基础研究规划项目(批准号:G2000028203,G2000028202)和863专项(批准号:2002AA303260)资助的课题. （批准号:G2000028203,G2000028202）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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