表面技术2009，Vol.38Issue(4)：23-25,3.
氧在溅射和退火过程中对ZnO薄膜的影响研究
Effect of Oxygen on ZnO Thin Film in Sputtered and Annealed State
徐芸芸 1张韬 1陈晰 1徐新 1李争鸣1
作者信息
摘要
关键词
ZnO薄膜/XRD/氧气/退火分类
矿业与冶金引用本文复制引用
徐芸芸,张韬,陈晰,徐新,李争鸣..氧在溅射和退火过程中对ZnO薄膜的影响研究[J].表面技术,2009,38(4):23-25,3.
