中国工程科学2006，Vol.8Issue(8)：23-27,5.
旋转体自身驱动的硅微机械陀螺
Si Micromachined Gyroscope Driven by the Rotating Carrier
摘要
关键词
硅/各向异性腐蚀/角速度/仿真器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张福学,毛旭,张伟..旋转体自身驱动的硅微机械陀螺[J].中国工程科学,2006,8(8):23-27,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(60472011) （60472011）
北京市传感器重点实验室资助项目(4032010) （4032010）
