流体机械2002，Vol.30Issue(4)：23-28,6.
基于MEMS的微流体机械研究进展
Investigation Progress in MEMS-based Micro Fluid Machinery
摘要
关键词
MEMS/微流动系统/微加速度计/微泵/微喷/微阀/微通道分类
能源科技引用本文复制引用
王沫然,李志信..基于MEMS的微流体机械研究进展[J].流体机械,2002,30(4):23-28,6.基金项目
国家自然科学基金重大资助项目(59995550-2)国家重点基础研究发展规划项目(G1999033106) （59995550-2）
