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微米孔阵列振幅型光子筛的设计和制作

程冠晓 邢廷文 林妩媚 周金梅 邱传凯 廖志杰 马建玲

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：2344-2347,2350,5.
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传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：2344-2347,2350,5.

微米孔阵列振幅型光子筛的设计和制作

Design and Fabrication of Low-Numerical-Aperture Amplitude-Photon Sieve

程冠晓 1邢廷文 2林妩媚 1周金梅 1邱传凯 1廖志杰 1马建玲1

作者信息

  • 1. 中国科学院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100039
  • 折叠

摘要

关键词

衍射光学/微光学设计/光子筛/光刻

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

程冠晓,邢廷文,林妩媚,周金梅,邱传凯,廖志杰,马建玲..微米孔阵列振幅型光子筛的设计和制作[J].传感技术学报,2006,19(5):2344-2347,2350,5.

基金项目

江苏省高技术研究计划项目资助(BG2003024) （BG2003024）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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