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人工晶体学报
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CVD法生长ZnSe的工艺分析
CVD法生长ZnSe的工艺分析
王向阳
方珍意
蔡以超
张力强
肖红涛
人工晶体学报
2004，Vol.33
Issue(2)：235-237,3.
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人工晶体学报
2004，Vol.33
Issue(2)
：235-237,3.
CVD法生长ZnSe的工艺分析
Technical Analysis of CVD ZnSe Growth by Se Method
王向阳
1
方珍意
1
蔡以超
1
张力强
1
肖红涛
1
作者信息
1.
中非人工晶体研究院,北京,100018
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摘要
关键词
化学气相沉积
/
硒化锌
/
工艺分析
分类
数理科学
引用本文
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王向阳,方珍意,蔡以超,张力强,肖红涛..CVD法生长ZnSe的工艺分析[J].人工晶体学报,2004,33(2):235-237,3.
人工晶体学报
OA
北大核心
CSCD
CSTPCD
ISSN：
1000-985X
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