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pn结电容-电压法测量应变SiGe禁带宽度

舒斌 戴显英 张鹤鸣

物理学报2004,Vol.53Issue(1):235-238,4.
物理学报2004,Vol.53Issue(1):235-238,4.

pn结电容-电压法测量应变SiGe禁带宽度

Determination of bandgap in SiGe strained layers using a pn heterojunction C -V

舒斌 1戴显英 1张鹤鸣1

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071
  • 折叠

摘要

关键词

SiGe/Si/异质pn结/C-V/禁带宽度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

舒斌,戴显英,张鹤鸣..pn结电容-电压法测量应变SiGe禁带宽度[J].物理学报,2004,53(1):235-238,4.

基金项目

模拟集成电路国家重点实验室基金(批准号:99JS09.3.1DZ0111)资助的课题. (批准号:99JS09.3.1DZ0111)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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