材料工程Issue(z1)：235-238,242,5.
磁控共溅射Al-Cu-Fe薄膜表面形貌分析
Surface Morphology of Al-Cu-Fe Thin Films by Magnetron Co-sputtering
摘要
关键词
Al-Cu-Fe薄膜/磁控溅射/表面形貌分类
通用工业技术引用本文复制引用
周细应,徐祖健,刘延辉,徐洲..磁控共溅射Al-Cu-Fe薄膜表面形貌分析[J].材料工程,2008,(z1):235-238,242,5.基金项目
海市科技发展基金(07ZZ159)和上海市重点学科建设项目资助(J51402) （07ZZ159）
