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用于光刻的小型KrF准分子激光器及光学系统

张兆平

量子电子学报Issue(3)：236,1.
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量子电子学报Issue(3)：236,1.

用于光刻的小型KrF准分子激光器及光学系统

张兆平1

作者信息

  • 1. 中国科学院安徽光学精密机械研究所;中国科学院安徽光学精密机械研究所
  • 折叠

摘要

关键词

准分子激光器/光斑均匀性/光刻

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张兆平..用于光刻的小型KrF准分子激光器及光学系统[J].量子电子学报,1997,(3):236,1.

量子电子学报

OA北大核心CSCD

1007-5461

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