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MOCVD制备的ZnO薄膜及其在太阳电池背电极应用

陈新亮 徐步衡 薛俊明 赵颖 张晓丹 耿新华

半导体学报2005,Vol.26Issue(12):2363-2368,6.
半导体学报2005,Vol.26Issue(12):2363-2368,6.

MOCVD制备的ZnO薄膜及其在太阳电池背电极应用

ZnO Thin Film Growth by Metal Organic Chemical Vapor Deposition and Its Back Contact Application in Solar Cells

陈新亮 1徐步衡 1薛俊明 1赵颖 1张晓丹 1耿新华1

作者信息

  • 1. 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071
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摘要

关键词

MOCVD/ZnO薄膜/B掺杂/背电极/太阳电池

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈新亮,徐步衡,薛俊明,赵颖,张晓丹,耿新华..MOCVD制备的ZnO薄膜及其在太阳电池背电极应用[J].半导体学报,2005,26(12):2363-2368,6.

基金项目

天津市自然科学基金(批准号:043604911,05YFJMJC01600)和国家重点基础研究发展规划(批准号:G2000028202,G2000028203)资助项目 (批准号:043604911,05YFJMJC01600)

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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