物理学报2004，Vol.53Issue(7)：2368-2372,5.
帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析
Analysis of the reflective performance of EUV multilayer under the influence of capping layer
摘要
关键词
多层膜/反射率/帽层/极紫外分类
数理科学引用本文复制引用
王洪昌,王占山,李佛生,秦树基,杜芸,王利,张众,陈玲燕..帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析[J].物理学报,2004,53(7):2368-2372,5.基金项目
国家自然科学基金(批准号:60178021、上海市科技攻关项目(批准号:022261049)和国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA847050)资助的课题. （批准号:60178021、上海市科技攻关项目(批准号:022261049）
