传感技术学报2008，Vol.21Issue(2)：237-240,4.
体硅加工的压电式微加速度计的设计
Design of A Bulk-Micromachined Piezoelectric Accelerometer
摘要
关键词
MEMS/体硅微加工工艺/压电式微加速度计/氧化锌分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨慧,李伟红,郭航..体硅加工的压电式微加速度计的设计[J].传感技术学报,2008,21(2):237-240,4.基金项目
厦门大学引进人才科研启动基金资助(0000-X07191) （0000-X07191）
