传感技术学报2006，Vol.19Issue(6)：2376-2379,4.
一种新型硅基厚膜压力/温度传感器的设计和制作
Design and Fabrication of a Novel Silicon Pressure/Temperature Microsensor
摘要
关键词
压力/温度传感器/压阻效应/应力分布/集成工艺分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张艳红,刘兵武,刘理天,张兆华,谭智敏,林惠旺..一种新型硅基厚膜压力/温度传感器的设计和制作[J].传感技术学报,2006,19(6):2376-2379,4.基金项目
浙江省科技攻关重大专项支持(2005C11015) （2005C11015）
