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乙炔气体流量对纳米TiC类金刚石复合膜的化学结构及力学性能影响

马国佳 刘喜亮 张华芳 武洪臣 彭丽平 蒋艳莉

物理学报2007，Vol.56Issue(4)：2377-2381,5.
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物理学报2007，Vol.56Issue(4)：2377-2381,5.

乙炔气体流量对纳米TiC类金刚石复合膜的化学结构及力学性能影响

Influences of acetylene gas flow rate on mechanical properties and chemical structure of nanocomposite TiC diamond-like carbon films

马国佳 1刘喜亮 2张华芳 1武洪臣 1彭丽平 1蒋艳莉1

作者信息

  • 1. 北京航空制造工程研究所,北京,100024
  • 2. 哈尔滨工程大学机电工程学院,哈尔滨,150001
  • 折叠

摘要

关键词

纳米TiC类金刚石复合膜/类金刚石膜/力学性能

分类

化学化工

引用本文复制引用

马国佳,刘喜亮,张华芳,武洪臣,彭丽平,蒋艳莉..乙炔气体流量对纳米TiC类金刚石复合膜的化学结构及力学性能影响[J].物理学报,2007,56(4):2377-2381,5.

基金项目

国防科技重点实验室基金(批准号:51461070905ZS5003)资助的课题. （批准号:51461070905ZS5003）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-3290

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