ACTA PHYSICA SINICAIssue(12)：2382-2388,7.
化学气相沉积法制备金刚石膜截面微区Raman分析
王冠中 1叶峰 2常超 3章应辉 3方容川3
作者信息
- 1. 中国科学技术大学结构分析开放实验室,中国科学技术大学物
- 2. 中国科学技术大学物理系
- 折叠
摘要
关键词
化学气相沉积/金刚石/薄膜/微区分析分类
数理科学引用本文复制引用
王冠中,叶峰,常超,章应辉,方容川..化学气相沉积法制备金刚石膜截面微区Raman分析[J].ACTA PHYSICA SINICA,1999,(12):2382-2388,7.
