物理学报2005，Vol.54Issue(5)：2389-2393,5.
不同参数溅射的ZnO薄膜硫化后的特性
The properties of the as-sputtered ZnO films under different deposition parameters after sulfidation
摘要
关键词
ZnS薄膜/磁控溅射/ZnO硫化/太阳电池分类
数理科学引用本文复制引用
张仁刚,王宝义,张辉,马创新,魏龙..不同参数溅射的ZnO薄膜硫化后的特性[J].物理学报,2005,54(5):2389-2393,5.基金项目
国家自然科学基金(批准号:10275077)资助的课题. （批准号:10275077）
